EDWARDS復合渦輪分子泵

簡要描述：BOC Edwards EXT泵適用于除zui苛刻的半導體應用和科學應用(這些領域可使用STP系列泵)以外的任何領域。EXT系列一般使用球形氮化硅陶瓷軸承和磁懸浮軸承的組合形式。陶瓷軸承與傳統軸承相比具有更輕、更硬和更平穩的優點，以及壽命長、小振動的優點。由于軸承滾珠和軸承座使用了不同材料，防止了微小凹陷而提高可靠性。

產品型號：EXT406PX
廠商性質：代理商
更新時間：2026-04-21
訪問量：6119
產品資料：

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產品分類

HTC真空角閥具有快速響應和精確控制的能力

詳細介紹

品牌	Edwards/愛德華	產地	進口
加工定制	否

BOC Edwards EXT406PX泵

性能特點

真空系統簡單

* 可以選用較小的前級泵。

* 降低真空系統體積與功耗。

* 前級壓力在8mbar就可啟動，入口負載可達2E-3 。

* 前級壓力為17mbar時，還可維持正常轉速。

非常適合于與隔膜泵聯用，特別適用于抽H2。

兼容24v DC Edwards TIC渦輪控制器或渦輪儀表控制器。

* 也可使用用戶自己的24V DC電源。

技術數據

入口法蘭 DN100ISO-K、DN100CF、DN160ISO-K、DN160CF
壓縮比
	N2	>1 x 10E11
	He	1 x 10E6
出口法蘭（前級泵口）		DN25NW
前級泵（推薦）		XDS10或RV12（或其它更小的，依應用而定）
放氣口		1/8 inch BSP
吹掃凈化口		1/8 inch BSP
zui高入口壓力（空氣） *
	水冷（水溫15°C，大氣溫度40°C）	0.008mbar
	空冷（大氣溫度35°C）	0.012mbar
額定轉速		60000 rpm
轉速達到90%所需時間 **		285 s
冷卻方式		空冷/水冷
大氣溫度（空冷）		5-35 °C
冷卻水zui低流速（水溫15 °C）		15 l/h
水溫范圍		10-20 °C
入口法蘭zui高溫度		100 °C
工作姿態		垂直
噪音（1m處）		<45 dB（A）
zui大磁場		5 mT
靜止功耗		25～40 W

EXT406PX渦輪分子泵安裝尺寸

A EXDC控制器

B 前級泵口

C 羅茨泵口

D 吹掃凈化口

E 放氣口

F 接地

EXT406PX渦輪分子泵特性曲線

訂貨信息

描述	貨號
EXT406PX 復合渦輪分子泵 DN100ISO入口法蘭	B760-31-991
EXT406PX 復合渦輪分子泵 DN100CF入口法蘭	B760-32-991
EXT406PX 復合渦輪分子泵 DN160ISO入口法蘭	B760-41-991
EXT406PX 復合渦輪分子泵 DN160CF入口法蘭	B760-42-991
EXDC160 24 V	D396-46-000

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