INFICON薄膜沉積監(jiān)控器

簡要描述：SQM-160 使用成熟的 INFICON 石英晶體傳感器技術(shù)在薄膜沉積過程中測量速率和厚度。兩個傳感器輸入為標(biāo)準(zhǔn)輸入，另外四個傳感器輸入為可選輸入。兩個錄像機(jī)輸出可提供模擬速率和厚度信號。

產(chǎn)品型號：SQM160
廠商性質(zhì)：代理商
更新時間：2026-06-18
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品牌	Inficon/英福康	產(chǎn)地	進(jìn)口
加工定制	否

SQM-160多層膜速率/膜厚監(jiān)測儀

SQM-160 使用成熟的 INFICON 石英晶體傳感器技術(shù)在薄膜沉積過程中測量速率和厚度。兩個傳感器輸入為標(biāo)準(zhǔn)輸入，另外四個傳感器輸入為可選輸入。兩個錄像機(jī)輸出可提供模擬速率和厚度信號。

傳感器輸入可分配給不同的材料，在大型系統(tǒng)中平均分配以實(shí)現(xiàn)精確的沉積控制，或者配置為雙傳感器。速率采樣模式可在高速率過程中屏蔽傳感器，從而延長傳感器的使用壽命。速率顯示為 0.1?/s 或 0.01?/s，用戶可自行選擇。此外，還可以選擇頻率或質(zhì)量顯示。憑借四個繼電器輸入，SQM-160 可控制來源或傳感器屏蔽、信號時間和厚度設(shè)定點(diǎn)以及信號晶體失效。數(shù)字輸入允許外部信號啟動/停止和歸零讀數(shù)。