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    真空矩形閥

    簡要描述:真空矩形閥廣泛應用于半導體、光電產業之鍍膜設備,安裝于生產線與過渡腔室(load-lock chamber),過渡腔室(load-lock chamber)與傳輸系統(handling system),傳輸系統(handling system)與制程腔室(process chamber)等需要真空與壓力分隔的地方。

    • 產品型號:
    • 廠商性質:代理商
    • 更新時間:2026-04-24
    • 訪  問  量:3470
    • 產品資料:

    詳細介紹

    品牌其他品牌產地進口
    加工定制

    產品應用

    Htc真空矩形閥是采用了直連驅動技術的真空閥,外形尺寸小,設計緊湊,所有動件皆位于大氣側因而與真空側隔絕,可減少粉塵產生,并提升產品的使用壽命。另外還有無氣壓時的封合自鎖保護,封板快速拆裝設計易維修等優點。


    設計原理/特征

    l   低振動及低粉塵設計(Low vibration and Low particle)

    l   利用凸輪機構與彈簧完成封板封合動作。

    l   雙氣壓缸、單出力軸驅動。

    l   驅動軸桿封合頂緊輔助裝置。

    l   無氣壓時的封合自鎖保護裝置。

    l   封板快速拆裝設計,方便O-ring維修更換。

    l   100 萬周期壽命。


    真空矩形閥分類

    l   標準型矩形閘閥(Standard Rectangular Transfer valves)

    l   標準型矩形門型閘閥(Rectangular doors)

    l   大型矩形閘閥(Large rectangular transfer valves)

    l   大型矩形門型閘閥(Large rectangular doors)


    Body 材質

    鋁合金或不銹鋼(Aluminum or Stainless)

    Body 表面處理

    電解拋光 or 鋁硬陽處理(Electrolytic polishing or Hard anodized Aluminum)
























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