TG220F型/TG350F型/TG450F型復(fù)合分子泵

*安裝型復(fù)合分子泵的優(yōu)點

排氣范圍廣：低真空到超高真空的寬廣范圍內(nèi)排氣

大流量排氣：可排大流量的氣體

迅速啟動：啟動快，可縮短待機時間

耐振動耐沖擊：經(jīng)得住壓力的急速上升，耐大氣沖擊能力強；且適用于受外部震動影響的使用環(huán)境

*的耐久性：通過適當?shù)木S修可長期使用（泵的壽命達到10萬小時以上）

用途：半導(dǎo)體；FPD(LCD,PDP,有機EL,FED,其他)制造；各種電子部件的制造；管球制造，光學(xué)部件（鏡片，光學(xué)過濾器等）制造；尤其適用于移動式的排氣裝置；電子槍排氣，離子源排氣，熱處理；表面處理，表面改質(zhì)；分析，試驗裝置；加速器，放射光設(shè)備，核聚變研究；研究開發(fā)用

TG220F型/TG350F型/TG450F型復(fù)合分子泵
*安裝；小型；節(jié)能；迅速啟動；可迅速停止排氣；耐大氣沖擊能力強；多種通信模式*RS232C通信界面標準設(shè)備；符合安全規(guī)格NRTL/SEMI-S2/CE

TG220F型：

TG350F型：

TG450F型：

*輔助泵的容量是160L/min情況下的容許大流量

使用環(huán)境溫度：極限壓力的保證環(huán)境溫度是10-23度、空冷狀態(tài)下的容許環(huán)境溫度是10-32度，水冷狀態(tài)時是10-40度。極限壓力保證冷卻水溫在30度以下時容許冷卻水溫是10-35度
對應(yīng)氣體種類：根據(jù)抽吸氣體種類，軸承潤滑脂或內(nèi)部部件會受損。有關(guān)對應(yīng)的氣體種類請咨詢
標準組合：泵+電源+電機電纜（3m）+風扇電纜（3m，于空冷型）
特殊附屬品（另行購買）：（烘烤用）吸氣口電熱帶，自動慢排閥，氣體吹掃接口，精密針型閥，配管部件。