VGC401，VGC402，VGC403INFICON真空計(jì)控制器測(cè)量和控制過(guò)程的完整解決方案

TIC EDWARDS通用型真空規(guī)控制器

IGC EDWARDS 電離真空規(guī)控制器測(cè)量范圍寬：電子束除氣型的測(cè)量范圍為5 x 10-3 到 2 x 10-11 mbar。

ADC EDWARDS數(shù)字真空規(guī)控制器 插上電源就可工作：插上電源，連接真空規(guī)，ADC就顯示測(cè)量壓力

AGC EDWARDS通用型真空計(jì)控制器：可以驅(qū)動(dòng)BOC Edwards的皮拉尼、線性皮拉尼、熱偶、應(yīng)變、倒磁控管、寬范圍、電離以及電容式壓力計(jì)。

APG100-XM EDWARDS皮拉尼真空規(guī)管測(cè)量范圍：大氣壓至10-3mbar；APG100-XLC測(cè)量范圍：大氣壓至10-4mbar