MAG500 替代 PEG100 的說明

MAG500 替代 PEG100 的說明

一、 PEG100 停產(chǎn)與替代  PEG100 冷陰極真空計(jì)已于 2025 年底停產(chǎn)，現(xiàn)已停止接收新訂單。但后續(xù) INFICON 仍將提供售后服務(wù)。INFICON 在多年前就推出了 PEG100 的替代產(chǎn) 品：Gemini MAG500 冷陰極真空計(jì)。這兩款真空計(jì)工作原理相同，理想的工 作場(chǎng)景也相同，它們都適合用于監(jiān)測(cè)腔體的本底真空。如圖，MAG500 有多 種貨號(hào)可以選擇，確保法蘭、電氣接口、模擬量輸出范圍選擇正確，就可 以即插即用替換 PEG100。

二、 MAG500 與 PEG100 精度指標(biāo)不同  如下圖，MAG500 與 PEG100 的精度指標(biāo)有區(qū)別。MAG500 在 1E-8 至 1E-2mbar 范圍內(nèi)都擁有±30%的精度，而 PEG100 僅在 1E-8 至 1E-4mbar 范圍內(nèi)擁有 ±30%的精度。當(dāng)壓力高于 1E-4mbar 時(shí)，PEG100 沒有任何精度指標(biāo)。

如上圖所示，是在 INFICON 瑞士工廠進(jìn)行的對(duì)比測(cè)試，當(dāng)腔體內(nèi)（空氣/氮 氣）真實(shí)壓力高于 1E-4mbar 時(shí)，多支 PEG100 均出現(xiàn)了讀值低于真實(shí)值， 非線性誤差的現(xiàn)象。兩款真空計(jì)均符合說明書指標(biāo)。該實(shí)驗(yàn)說明了 MAG500 與 PEG100 在高真空下表現(xiàn)一致。當(dāng)腔體壓力高于 1E-4mbar 時(shí)，MAG500 讀 值可能會(huì)明顯高于 PEG100，這是由于 MAG500 測(cè)量相對(duì) PEG100 更準(zhǔn)確導(dǎo)致 的。

三、 冷陰極真空計(jì)具有氣體選擇性  PEG100 與 MAG500 均屬于冷陰極真空計(jì)，該測(cè)量原理決定了：當(dāng)真空計(jì)測(cè)量 同一個(gè)壓力的不同氣體時(shí)，讀值也不同。INFICON 真空計(jì)都是以空氣/氮?dú)?進(jìn)行出廠校準(zhǔn)。如下圖所示，以 MAG500 為例（可以部分代表 PEG100）展示 了不同氣體的真實(shí)壓力與測(cè)量到的壓力的曲線。在很多鍍膜設(shè)備中，會(huì)在 鍍膜工藝過程中充入氬氣，這被稱為工藝壓力。以氬氣為例，當(dāng)它在腔體 內(nèi)真實(shí)壓力為 6E-3mbar 時(shí)，其顯示壓力已達(dá)到約 1.5E-2mbar，即將觸發(fā)冷 陰極真空計(jì)的超壓保護(hù)。在量程范圍內(nèi)，冷陰極真空計(jì)測(cè)量氬氣讀值均會(huì) 明顯偏高。

四、 測(cè)量工藝壓力的理想選擇——CDG045D  針對(duì)在過去使用 PEG100 測(cè)量了工藝壓力，并且氣體類型不是空氣的設(shè)備， INFICON 推薦使用滿量程為 0.1Torr 的 CDG045D 監(jiān)測(cè)工藝壓力。該真空計(jì)為 電容薄膜規(guī)，其特點(diǎn)是精度高，且不具有氣體選擇性，無論測(cè)量的是何種 氣體，都能顯示其真實(shí)值。使用 0.1Torr 的 CDG045D，其精度較高的范圍是 0.1Torr 至 5E-4Torr(13.3Pa 至 6.6E-2Pa)，可以覆蓋大多數(shù)設(shè)備原本 PEG100 監(jiān)測(cè)的工藝壓力范圍。

五、 總結(jié)  整體來講，MAG500 是替代已經(jīng)停產(chǎn)的 PEG100 的zui jia xuan ze，它們?cè)诟哒婵障?表現(xiàn)一致，MAG500 也做到了超越前輩的精度指標(biāo)。PEG100 在幾十年的產(chǎn)品 壽命中被應(yīng)用在了各種設(shè)備中，某些情況下 PEG100 被用來監(jiān)測(cè)工藝壓力。 若工藝氣體中使用了氬氣，結(jié)合 MAG500 與 PEG100 的精度差異以及冷陰極 真空計(jì)的氣體選擇性，會(huì)導(dǎo)致用于替代 PEG100 的 MAG500 讀值明顯偏高， 甚至觸發(fā)真空計(jì)的超壓保護(hù)。針對(duì)這種情況，INFICON 推薦使用精度更高、 不具有氣體選擇性的 CDG045D，用于監(jiān)測(cè)工藝壓力。