科銳詩汀給你分享英福康CDG系列薄膜規(guī)使用的經(jīng)驗(yàn)

科銳詩汀給你分享英福康CDG系列薄膜規(guī)使用的經(jīng)驗(yàn)

一：

如果初次使用CDG型薄膜型真空計(jì)時(shí)，在相同的腔體環(huán)境中，發(fā)現(xiàn)真空計(jì)的壓力顯示不一致。請(qǐng)進(jìn)行以下排查：

1. 排查腔體的實(shí)時(shí)壓力是否滿足真空計(jì)的工作壓力要求。

2. 排查真空計(jì)的安裝方向是否符合制造商的規(guī)定（出廠時(shí)默認(rèn)為垂直安裝，如改為水平安裝，需重新標(biāo)定）。

3. 排查相關(guān)氣路的氣密性，判斷是否存在漏氣現(xiàn)象。

4. 排查腔體環(huán)境是否存在可能干擾設(shè)備正常工作的腐蝕性氣體。

5. 排查腔體內(nèi)部壓力是否真的存在不一致現(xiàn)象。

6. 排查真空計(jì)本身是否存在故障。

二、

1、CDG系列薄膜規(guī)在購買前需要特別注意其量程范圍，真空計(jì)本身最大檢測(cè)量級(jí)為滿量程向下4個(gè)數(shù)量級(jí)，建議檢測(cè)壓力為滿量程向下2.5個(gè)數(shù)量級(jí)。（例如滿量程為1000Torr的薄膜規(guī)，則建議在5~1000Torr的范圍下使用）。

2、CDG系列薄膜規(guī)在出廠時(shí)，真空計(jì)默認(rèn)為垂直向上方向校準(zhǔn)。薄膜規(guī)的工作原理是壓力使膜片變形，變形量與壓力大小成比例關(guān)系。因?yàn)殡娙菽て旧泶嬖谥亓康挠绊懀哉婵沼?jì)在安裝方向上不同，膜片本身的形變也會(huì)變化，最后導(dǎo)致壓力顯示的結(jié)果出現(xiàn)偏差。所以非垂直向上安裝，需要對(duì)真空計(jì)進(jìn)行重新校準(zhǔn)后再使用。

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