MKS公司eliteTM 射頻電源用途及特點(diǎn)

eliteTM 等離子電源應(yīng)用：等離子蝕刻、化學(xué)氣相沉積和噴鍍應(yīng)用的穩(wěn)定耐用性射頻電源。憑借的功率控制和數(shù)字化接口，eliteTM 電源有著現(xiàn)在等離子工藝所要求的穩(wěn)定性和重復(fù)性。

eliteTM 等離子電源特點(diǎn)：在13.56MHz工作頻率上，eliteTM 平臺(tái)由基于50Ω負(fù)載的300W，600W及750W產(chǎn)品組成。數(shù)字控制模塊自動(dòng)量測射頻輸出功率和發(fā)射功率，確保功率輸出在1至300,600或760瓦時(shí)，有穩(wěn)定實(shí)際功率輸出，其偏差在設(shè)定值的±2%內(nèi)。可輸出高達(dá)1kHz脈沖射頻，工作比范圍為1至99%

的功率校準(zhǔn)按照基于NIST的ENI 電源標(biāo)準(zhǔn)完成的。低諧波畸變和無虛假性能強(qiáng)化了該單元的射頻功率輸出控制和的射頻穩(wěn)定性。一個(gè)堅(jiān)固耐用的射頻電源可以保證輸出到固定匹配器的實(shí)際功率。數(shù)字控制可以不間斷的偵測內(nèi)部子系統(tǒng)的狀態(tài)來實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的效益。